荣芯半导体申请半导体器件及其制造方法专利,能够提高器件可靠性
创始人
2026-06-22 09:03:38

国家知识产权局信息显示,荣芯半导体(淮安)有限公司申请一项名为“一种半导体器件及其制造方法”的专利,公开号CN122249040A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,一种半导体器件及其制造方法,该方法包括:提供半导体衬底,半导体衬底上形成有层间介质层;对层间介质层进行刻蚀,以形成贯穿层间介质层的接触孔;在接触孔内填充导电层;沉积填充介质层,以填满未被导电层填满的接触孔;执行平坦化工艺,去除位于层间介质层上方的填充介质层和导电层,直至暴露出层间介质层,并使导电层、填充介质层与层间介质层的上表面齐平。本申请通过填充介质层填充接触孔,并执行平坦化工艺以形成平坦表面,能够提高器件可靠性。

天眼查资料显示,荣芯半导体(淮安)有限公司,成立于2021年,位于淮安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本750000万人民币。通过天眼查大数据分析,荣芯半导体(淮安)有限公司参与招投标项目17次,专利信息67条,此外企业还拥有行政许可40个。

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来源:市场资讯

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