炬光科技:LAB设备适配HBM制造关键工艺需求
创始人
2025-07-04 23:00:58

证券之星消息,炬光科技(688167)07月04日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问:公司的激光辅助键合(LAB)设备主要应用场景是哪里?能应用于HBM芯片制造吗?

炬光科技回复:激光辅助键合(LaserAssistedBonding,简称LAB),是一种先进的微连接技术,它利用激光的高能量密度特性,将激光束聚焦照射在需要键合的材料界面处,使材料表面瞬间升温,达到特定的温度条件,引发材料间的物理或化学变化,从而实现键合材料的牢固连接。2024年8月28日,炬光科技正式发布应用于芯片先进封装工艺的FluxH系列高精度可变光斑激光系统。公司的激光辅助键合(LAB)设备主要应用于半导体先进封装领域,尤其适用于对键合精度、热影响控制及材料兼容性要求较高的场景,例如芯片级封装(CSP)、三维集成(3DIC)及微机电系统(MEMS)制造中的低温键合需求。针对HBM(高带宽内存)芯片制造,其核心工艺涉及多层DRAM芯片的垂直堆叠与高密度互连,对键合技术的精度(如微米级对齐)、可靠性(如低温/无应力键合)及效率(如高速工艺适配)有严格要求。LAB设备通过激光局部加热技术,可实现高精度、低热应力的键合效果,理论上适配HBM制造中铜-铜或混合键合等关键工艺需求。感谢您对公司的关注!

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