思泉新材申请PECVD镀膜设备专利,能使膜料被柔和加热蒸发
金融界
2024-02-03 05:50:02

原标题:思泉新材申请PECVD镀膜设备专利,能使膜料被柔和加热蒸发

金融界2024年1月31日消息,据国家知识产权局公告,广东思泉新材料股份有限公司申请一项名为“PECVD镀膜设备“,公开号CN117467981A,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种PECVD镀膜设备,其具有能使膜料被柔和加热蒸发的优点。本发明的PECVD镀膜设备包括反应室、蒸发装置、正电极、抽真空装置和公自转转架系统,反应室具有一镀膜腔,公自转转架系统安装于镀膜腔,抽真空装置与镀膜腔连通,蒸发装置包括蒸发结构、进料接头和吹气管,蒸发结构内具有加热蒸发腔,加热蒸发腔与镀膜腔连通,进料接头用于输入液体状的膜料进加热蒸发腔,蒸发结构将位于加热蒸发腔的膜料蒸发成气雾状材料,吹气管伸入加热蒸发腔并往加热蒸发腔喷吹惰性气体,加热蒸发腔中的气雾状材料和惰性气体相互融合成混合气体,所形成的混合气体从加热蒸发腔流入到镀膜腔中。

来源:金融界

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