洁安流体取得单侧供气盘专利，满足CVD设备生产的基础需求_资讯

洁安流体取得单侧供气盘专利，满足CVD设备生产的基础需求

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2026-02-18 04:41:58

国家知识产权局信息显示，上海洁安流体科技有限公司取得一项名为“一种单侧供气盘”的专利，授权公告号CN223921544U，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本实用新型涉及供气盘领域，具体是一种单侧供气盘，包括盘体，所述盘体上安装有隔膜阀、减压阀、单向阀和膜片阀，隔膜阀与减压阀的一侧相连，减压阀的另一侧与单向阀的一侧相连，盘体上还安装有精密过滤器，精密过滤器的一侧与单向阀的另一侧相连，精密过滤器的另一侧与膜片阀相连。本产品通过在减压阀的出口处配备精密过滤器，可以保持后端气体的使用洁净度，进而可以满足CVD设备生产的基础需求，持续为CVD设备供气。

天眼查资料显示，上海洁安流体科技有限公司，成立于2010年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1080万人民币。通过天眼查大数据分析，上海洁安流体科技有限公司参与招投标项目44次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息37条，此外企业还拥有行政许可4个。

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来源：市场资讯

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