腾讯公司取得专利技术显著提高光刻效率
金融界
2024-01-12 15:10:14
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金融界2024年1月11日消息，据国家知识产权局公告，腾讯科技（深圳）有限公司取得一项名为“掩膜生成模型训练方法、掩膜生成方法及装置和存储介质”，授权公告号CN116720479B，申请日期为2023年8月。
专利摘要显示，本申请提供一种掩膜生成模型训练方法、掩膜生成方法及装置和存储介质，包括：获取训练样本集，一训练样本包括芯片样本的目标版图和目标版图的掩膜，针对至少一训练样本，以芯片样本的目标版图作为掩膜生成模型的输入，得到目标版图的预测掩膜，将目标版图的预测掩膜输入光刻物理模型，得到该预测掩膜对应的晶圆图案，根据芯片样本的目标版图包括的多个图形的周长之和与目标版图的预测掩膜的周长，确定目标版图的预测掩膜的复杂度，根据芯片样本的目标版图、目标版图的预测掩膜对应的晶圆图案、目标版图的掩膜、目标版图的预测掩膜和目标版图的预测掩膜的复杂度，对掩膜生成模型的参数进行调整，直到满足停止训练条件，得到已训练的掩膜生成模型。
来源：金融界
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