德龙激光申请晶圆搬运机构专利，可实现晶圆的快速搬运
金融界
2024-03-27 14:56:46
金融界2024年3月27日消息，据国家知识产权局公告，苏州德龙激光股份有限公司申请一项名为“晶圆搬运机构“，公开号CN117766444A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明涉及一种晶圆搬运机构，包括吸盘、吸盘固定板和龙门支架，吸盘固定板上安装有若干个用于搬运晶圆的吸盘；龙门支架上安装有X轴气缸，X轴气缸上的驱动端与气缸支撑板沿着Y轴正方向的一侧相连接，气缸支撑板沿着Y轴负方向的一侧与气缸转接板相连接，气缸转接板上安装有Z轴气缸，Z轴气缸底部的驱动端与下方的气缸升降板相连接，气缸升降板的底部安装有吸盘固定板。本发明结构设置简单，成本较低，可实现晶圆的快速搬运；本发明采用气缸、龙门支架、吸盘的组合，替换了传统双轴模组的组合，相比于双轴电机模组，具备空间小、成本低、重量轻的优点。
来源：金融界
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