晶合集成获得发明专利授权:“一种计算铜电镀中洗边间距的方法”
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2025-04-17 05:00:51

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种计算铜电镀中洗边间距的方法”,专利申请号为CN202510121359.2,授权日为2025年4月15日。

专利摘要:本发明提供一种计算铜电镀中洗边间距的方法,包括以下步骤:提供一经过铜洗边处理的晶圆,并获得所述晶圆在晶边处至少一个采集位的图片;根据灰度亮度对每个所述图片进行预处理,以锁定每个所述采集位处的铜边位置所在的第一目标区域,以及每个所述采集位处的晶边位置所在的第二目标区域;通过直线检测在所述第一目标区域获得每个所述采集位的铜洗边位置所在直线,并在所述第二目标区域中获得每个所述采集位的晶边位置所在直线,并计算每个所述采集位的铜洗边位置所在直线与晶边位置所在直线之间的距离,以使得本发明无需专门的光学系统装置就可以实现计算铜电镀中洗边间距,从而可以降低成本且不影响测量结果。

今年以来晶合集成新获得专利授权94个,较去年同期减少了5.05%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。

数据来源:天眼查APP

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