北京屹唐半导体申请热处理设备加热组件专利,提升热功率可调性
创始人
2025-03-27 04:01:41

金融界2025年3月26日消息,国家知识产权局信息显示,北京屹唐半导体科技股份有限公司申请一项名为“热处理设备加热组件”的专利,公开号 CN 119673811 A,申请日期为2024年9月 。

专利摘要显示,本公开实施例提供一种热处理设备加热组件,其中,加热组件包括:灯座,灯座包括第一加热区和第二加热区,第一加热区被第二加热区环绕包围;第一加热灯,多个第一加热灯设置于第一加热区中;第二加热灯,多个第二加热灯设置于第二加热区中;其中,第一加热灯为圆形灯,第二加热灯为线型灯。本公开实施例的技术方案可以通过两种加热灯对晶圆进行热处理,提升了热功率的可调性;通过第二加热灯对晶圆的边缘部分进行加热补温,能够有效降低基板不同区域的温度梯度,优化提升温度均匀性及成膜均匀性;第二加热区设置在第一加热区的周围,减少了热重叠区域,便于设备的安装,调试和维护。

天眼查资料显示,北京屹唐半导体科技股份有限公司,成立于2015年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本266000万人民币,实缴资本266000万人民币。通过天眼查大数据分析,北京屹唐半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目174次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息207条,此外企业还拥有行政许可86个。

来源:金融界

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