赛光半导体取得晶圆落槽机构专利，避免晶圆在移动过程中发生破裂
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2024-11-24 19:41:51
金融界2024年11月23日消息，国家知识产权局信息显示，赛光半导体科技（苏州）有限公司取得一项名为“一种晶圆落槽机构”的专利，授权公告号 CN 222029060 U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆落槽机构，涉及传送设备技术领域，包括总安装板和螺丝，所述总安装板的底端设有电机安装板，所述电机安装板上安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端连接有联轴器，所述总安装板位于联轴器的一端设置有丝杆安装块一，所述总安装板位于联轴器远离伺服电机的一端连接有丝杆安装块二，所述丝杆安装块一、丝杆安装块二之间转动连接有丝杆，本机构设计则通过导轨滑块进行，晶圆支撑杆用于对晶圆的托起以及落槽，由于其自身通过托接而间接达到的减震性能，避免晶圆在移动过程中发生破裂，该机构通过导轨滑块、丝杆确保了整个机构在上下移动时的精度以及稳定性。
来源：金融界
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