德龙激光获得实用新型专利授权:“内嵌升降PIN的旋转载台”
证券之星
2024-01-27 09:36:40

原标题:德龙激光获得实用新型专利授权:“内嵌升降PIN的旋转载台”

证券之星消息,根据企查查数据显示德龙激光(688170)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“内嵌升降PIN的旋转载台”,专利申请号为CN202320990679.8,授权日为2024年1月26日。

专利摘要:本实用新型涉及内嵌升降PIN的旋转载台,包括旋转轴底座组件、旋转马达和陶瓷盘,旋转轴底座组件包括固定底板,固定底板上设置有旋转马达,旋转马达顶部的驱动端与上方的载台底座相连接,载台底座上设置有陶瓷盘;还包括升降PIN组件,升降PIN组件包括丝杆电机、电机转接板、升降固定板、升降移动板、升降杆、吸盘和旋转底座。本实用新型在晶圆加工旋转载台内部,增加了一套升降PIN组件,此升降PIN组件还具有真空吸附功能,结构十分紧凑,既节省了空间又解决了传统晶圆加工载台与晶圆机器人配合自动化上下料的问题。

今年以来德龙激光新获得专利授权6个,较去年同期增加了50%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了4741.64万元,同比增32.71%。

数据来源:企查查

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