金融界2024年1月26日消息,据国家知识产权局公告,京东方科技集团股份有限公司申请一项名为“纳米线、阵列基板制备方法、阵列基板及电子设备“,公开号CN117461119A,申请日期为2022年5月。
专利摘要显示,本公开提供一种纳米线、阵列基板制备方法、阵列基板及电子设备,属于半导体技术领域,可解决有源区面积较大问题。纳米线制备方法包括:在衬底的第一表面制备绝缘层;在绝缘层背离衬底的表面形成具有引导沟槽的沟槽层;引导沟槽的宽度是指定粒径的诱导颗粒的粒径的0.8~1.2倍;在引导沟槽内制备诱导颗粒;在沟槽层背离衬底的表面制备析出层;对析出层进行处理,使析出层内的指定原子在诱导颗粒的诱导下沿引导沟槽析出,形成纳米线。
来源:金融界