细美事申请基板处理装置和方法专利，加热基板
创始人
2026-03-09 03:44:22
国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理装置和基板处理方法”的专利，公开号CN121620103A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基板处理方法，包括：将处理液体供应到旋转的基板上；以及通过激光照射组件用激光照射在其上形成有处理液体的液膜的旋转的基板，从而加热基板，其中，基板被划分为一个或多个单位照射区域，激光照射组件指定一个或多个单位照射区域中的任一单位照射区域并用激光照射所指定的单位照射区域，并且使激光的振荡频率与基板的旋转速度同步，使得激光的照射位置为所指定的单位照射区域。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
本网站信息内容及素材来源于网络采集或用户发布，如涉及侵权，请及时联系我们，发送链接至2697952338@QQ.COM，我们将第一时间进行核实与删除处理。
相关内容
热门资讯
原创 阿...
如果只看过去几天阿里发布新模型的动作，很容易把这轮变化理解为一次常规的模型更新周期。 但细看之下，这...
今晚抬头，看“红白配”
6日夜晚至7日凌晨心宿二伴月 夜空上演“红白配” 4月7日凌晨， 红色的恒星心宿二将会与一轮银白色的...
医药品冷库厂家选型指南：无锡凌...
导语：医药品冷库作为保障药品质量与安全的核心设备，其选型需重点关注温度稳定性、合规性认证及服务响应能...
“光”爆发！公募基金百日业绩亮...
2026年行情即将迈入百日节点，公募基金业绩分化进一步加剧。 截至最新数据，年内全市场基金首尾收益差...
科氪 | 荣耀与京东签订战略合...
4月2日，荣耀与京东签订战略合作协议，正式建立全方位战略合作伙伴关系，双方将围绕产品共创、用户共营、...
原创 金...
金价的波动总在不经意间勾起旧日回忆。2026年4月，当大家回看刚刚过去的3月行情，不少人心里咯噔一下...
雷军晒图小米YU7梅森·马吉拉...
4月6日，小米创办人、董事长兼CEO雷军发文晒出小米YU7梅森·马吉拉涂装版外观。 据悉，小米已官...
原创 暗...
最近，国际能源署（IEA）署长比罗尔的一番话引起了广泛的关注与讨论。他警告说，现在是全球石油市场的“...
原创 不...
彭博社最新数据引爆全球金融圈！中国持有的美国国债规模，已从 2011 年约 1.3 万亿美元的历史峰...
腾讯云云端OpenClaw安全...
OpenClaw 作为热门 AI Agent 工具，在快速落地应用的同时，伴随权限失控、配置缺陷、供...