京仪装备获得发明专利授权:“半导体工业废气处理方法及系统”
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2026-03-04 12:22:27

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示京仪装备(688652)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体工业废气处理方法及系统”,专利申请号为CN202511785798.X,授权日为2026年3月3日。

专利摘要:本申请涉及废气处理技术领域,提供一种半导体工业废气处理方法及系统。所述方法包括:控制脱氧反应单元对半导体工业废气进行脱氧处理;控制气体浓度检测单元对脱氧后的废气进行氧气浓度检测;在氧气浓度小于第一浓度阈值的情况下,控制等离子反应器对脱氧废气进行等离子处理;对脱氧反应单元中脱氧剂的剩余使用寿命进行预测,在剩余使用寿命小于寿命阈值的情况下,对脱氧剂进行更换或再生。本申请利用前置脱氧,从源头抑制氮氧化物生成,利用脱氧剂剩余使用寿命预测,及时更换或再生脱氧剂,具备可持续性、不会影响半导体高精度设备的运转和产品的良率,且无需考虑对氮氧化物进行催化分解的效率以及高热分解的能耗。

今年以来京仪装备新获得专利授权16个,较去年同期增加了100%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了7240.02万元,同比增61.93%。

通过天眼查大数据分析,北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目104次;财产线索方面有商标信息50条,专利信息547条,著作权信息63条;此外企业还拥有行政许可12个。

数据来源:天眼查APP

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