湖北星辰技术申请半导体结构对准检测专利,电容值表征对准程度
创始人
2026-01-13 04:40:47

国家知识产权局信息显示,湖北星辰技术有限公司申请一项名为“半导体结构、对准检测方法、半导体器件”的专利,公开号CN121310976A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本申请实施例公开了一种半导体结构、对准检测方法、半导体器件。半导体结构包括:第一半导体结构,包括间隔设置的第一导电柱和第一标识;第一导电柱沿第一方向延伸;第一方向垂直于第一半导体结构所在平面;第一标识的材料包括导电材料;沿平行于第一半导体结构所在平面的方向,多个第一标识围绕第一导电柱间隔设置;其中,沿第二方向位于第一导电柱两侧的第一标识,与第一导电柱之间的间隔相等;第二方向平行于第一半导体结构所在平面。第一导电柱和一个第一标识共同构成一个电容器,电容器的电容值表征第一导电柱和一个第一标识的对准程度。

天眼查资料显示,湖北星辰技术有限公司,成立于2021年,位于武汉市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3680.3242万人民币。通过天眼查大数据分析,湖北星辰技术有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目81次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息123条,此外企业还拥有行政许可28个。

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来源:市场资讯

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