中科飞测申请暗场检测装置专利，显著提升图像质量
国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种暗场检测装置”的专利，公开号CN121298738A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本申请提供的暗场检测装置，属于半导体检测技术领域，通过椭圆形环状的出光口及特定光斑排布方式，在待测样品表面形成高度均匀的椭圆形照明区域，有效消除了传统环形照明可能存在的亮度不均或暗区问题，为后续成像提供了稳定、一致的照明条件，显著提升了图像质量；同时，椭圆形照明区域被设计为完全覆盖物镜的探测视野，避免了照明过度或不足的问题，这意味着光能几乎全部被用于有效探测区域，提高了能量利用效率，同时确保了视场边缘与中心具有一致的检测灵敏度。
天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目272次，财产线索方面有商标信息255条，专利信息1076条，此外企业还拥有行政许可40个。
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来源：市场资讯
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