福拉特申请自动调平研磨方法专利，调平过程不损耗载具_资讯

福拉特申请自动调平研磨方法专利，调平过程不损耗载具

创始人

2025-12-30 14:01:18

国家知识产权局信息显示，江苏福拉特半导体设备有限公司申请一项名为“一种自动调平研磨方法”的专利，公开号CN121199769A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明公开了一种自动调平研磨方法，将真空吸附载台安装于六轴定位台，利用激光测距仪对载台四角多次采样并取平均，获得实时高度；控制单元计算高度差后驱动压电促动器伸缩，实现载台与研磨主轴轴线的垂直，并可按需重复测量与补偿。研磨前，通过边缘测高与径向基网络预测，对边缘翘曲进行补偿；研磨中，实时监测工件边缘高度或倒角角度，动态修正主轴下落距离。整个流程无需拆卸载具或铣平台面，换型快、人工依赖低，且调平过程不损耗载具，适用于晶圆、玻璃基板等高端工件的边缘精密研磨。

天眼查资料显示，江苏福拉特半导体设备有限公司，成立于2019年，位于南京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1184.2106万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏福拉特半导体设备有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目31次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息56条，此外企业还拥有行政许可9个。

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来源：市场资讯

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