晶合集成申请半导体结构及其制造方法专利，提高半导体结构的性能
金融界
2024-04-16 07:56:43
金融界2024年4月13日消息，据国家知识产权局公告，合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“一种半导体结构及其制造方法“，公开号CN117878060A，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体结构及其制造方法，属于半导体技术领域，所述半导体结构包括：衬底，包括逻辑区域和像素区域；栅极结构，设置在逻辑区域和像素区域的衬底上；自对准硅化物层，设置在逻辑区上，且设置在栅极结构和栅极结构两侧的衬底上；保护层，设置在像素区域，覆盖像素区域的衬底和栅极结构；第一覆盖层，设置在保护层上；以及缓冲层，设置在逻辑区域和第一覆盖层上，覆盖第一覆盖层以及逻辑区域上的衬底和栅极结构，且保护层和缓冲层的厚度差距小于10Å。通过本发明提供的一种半导体结构及其制造方法，提高半导体结构的性能。
来源：金融界
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