三星取得集成电路装置专利，实现更高效的电路连接
金融界
2024-04-11 14:18:04
金融界2024年4月11日消息，据国家知识产权局公告，三星电子株式会社取得一项名为“集成电路装置“的专利，授权公告号CN112151551B，申请日期为2020年4月。
专利摘要显示，一种集成电路装置包括：具有单元区域和互连区域的衬底；以及在衬底上的第一堆叠结构和在第一堆叠结构上的第二堆叠结构，第一和第二堆叠结构中的每个包括在单元区域和互连区域中一个接一个交替地堆叠的绝缘层和字线结构，其中，在互连区域中，第一堆叠结构包括贯穿第一堆叠结构的第一虚设沟道孔，第二堆叠结构包括连通地连接到第一虚设沟道孔的第二虚设沟道孔，第二虚设沟道孔贯穿第二堆叠结构，第一虚设沟道孔的最上端的第一虚设上宽度大于第二虚设沟道孔的最上端的第二虚设上宽度。
来源：金融界
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