晶合集成申请晶圆缺陷检测模型专利，提升模型训练效率
金融界
2024-04-11 12:52:05

原标题：晶合集成申请晶圆缺陷检测模型专利，提升模型训练效率

金融界2024年4月11日消息，据国家知识产权局公告，合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“一种晶圆缺陷检测模型的训练方法以及系统“，公开号CN117853876A，申请日期为2024年3月。

专利摘要显示，本发明提供一种晶圆缺陷检测模型的训练方法，包括：获取有标签缺陷数据集和无标签缺陷数据集；对初始残差网络模型进行初始化处理，生成学生网络模型和教师网络模型；将所述有标签缺陷数据集输入所述学生网络模型中进行多任务特征预测处理，生成第一预测特征数据集；对所述有标签缺陷数据集和所述无标签缺陷数据集依次进行多任务有监督损失处理和多任务一致性损失处理，以分别生成有监督损失权重和一致性损失权重，以及根据所述有监督损失权重和所述一致性损失权重对所述学生网络模型进行迭代优化处理，生成目标晶圆缺陷检测模型。通过本发明公开的一种晶圆缺陷检测模型的训练方法以及系统，能够提升模型训练效率。

来源：金融界

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