三星申请半导体器件专利，实现更优的半导体器件结构
金融界
2024-03-20 17:33:39
金融界2024年3月19日消息，据国家知识产权局公告，三星电子株式会社申请一项名为“半导体器件“，公开号CN117727691A，申请日期为2023年5月。
专利摘要显示，一种半导体器件包括：第一接触结构，连接到下部结构；第一导电布线，连接到第一接触结构；第一蚀刻停止层和层间绝缘层，顺序地设置在第一导电布线上；第二接触结构，穿过第一蚀刻停止层，设置在层间绝缘层中，并且连接到第一导电布线；第二导电布线，设置在第二接触结构上，并且设置在层间绝缘层中；阻挡层，包括在第二接触结构的底表面上的第一阻挡部；第二蚀刻停止层，设置在第二导电布线的顶表面和层间绝缘层的顶表面上；以及在阻挡层和延伸部之间的气隙。
来源：金融界
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