西安奕材获得发明专利授权:“硅片固定装置和硅片刻蚀设备”
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2025-10-18 15:01:59

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示西安奕材(688783)新获得一项发明专利授权,专利名为“硅片固定装置和硅片刻蚀设备”,专利申请号为CN202411788598.5,授权日为2025年10月17日。

专利摘要:本发明提供了一种硅片固定装置和硅片刻蚀设备,涉及半导体技术领域,硅片固定装置,包括:下承载台和上抵压台,硅片设置于下承载台朝向上抵压台的一面上;上抵压台上设置有多个抵压盘,每一抵压盘形成为内部中空的圆柱状结构,不同的抵压盘的直径不同,每一抵压盘能够在竖直方向上上升或下降;控制器,用于获取硅片的尺寸和硅片上待刻蚀的边缘区域的目标尺寸,根据目标尺寸和硅片的尺寸,控制多个抵压盘中的第一抵压盘下降抵压硅片的第一表面,以使第一表面暴露出目标尺寸的边缘区域。本发明可以匹配不同尺寸的硅片和不同尺寸的待刻蚀的边缘区域,通过一个硅片固定装置,即可以满足不同尺寸的硅片和不同尺寸的边缘区域的刻蚀需求。

今年以来西安奕材新获得专利授权25个。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.28亿元,同比减nan%。

通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目3次;财产线索方面有商标信息5条,专利信息1339条;此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源:天眼查APP

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