安集科技获得发明专利授权：“一种化学机械抛光液及其使用方法”
证券之星
2024-03-15 01:49:56
证券之星消息，根据企查查数据显示安集科技（688019）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学机械抛光液及其使用方法”，专利申请号为CN201911409281.5，授权日为2024年3月12日。
专利摘要：本发明旨在提供一种用于含碳材料的抛光液及其使用方法。所述化学机械抛光液，包含磨料、氧化剂和有机膦酸，该抛光液在维持较高的含碳材料去除速率的同时，避免抛光过程的副产物在抛光垫上沉积，延长了抛光垫的使用寿命，降低了抛光后晶圆表面的缺陷。
今年以来安集科技新获得专利授权1个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.01亿元，同比增34.82%。
数据来源：企查查
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