8月28日，重庆市科技创新大会举行，并揭晓2024年度重庆市科学技术奖励，两江新区有36项科学技术成果入围，涵盖新能源汽车、电子信息、高端装备等领域。

由华东师范大学重庆研究院牵头完成的

“紫外高功率超快激光装备研制

及精密制造应用”项目

荣获科技进步奖一等奖。

据了解，

该项目打破了国外技术的长期垄断，

开发了国际领先的

OLED柔性显示器件加工制造装备，

成果已应用于智能手机、可穿戴设备等

柔性显示产品制造。

华东师范大学重庆研究院相关负责人介绍，项目还获得了多个中国及美国授权发明专利，在重庆京东方显示技术有限公司、大族激光科技产业集团股份有限公司、烽火通信科技股份有限公司等得到了广泛的产业应用，能够有效提升我国在超快激光与精细制造领域的国际竞争力。

▲智能高速近紫外接近式光刻机。

同时，由中国科学院重庆绿色智能技术研究院（以下简称“中国科学院重庆研究院”）、重庆邮电大学和苏州中特微电子科技有限公司等申报的“智能高速接近式光刻机关键技术及产业化”项目荣获了科技进步奖二等奖。

作为半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤，光刻技术的相关研发不仅耗时长、成本高，且全自动光刻技术一直被国外垄断。

为此，中国科学院重庆研究院等团队从2015年起开展系列技术攻关，创新大角度光线偏折的多自由曲面联合配光方法，发明了基于滚珠花键的旋转升降对位装置，研发出的智能高速近紫外接近式光刻机，光源均匀性达98％，工件台平面定位精度±150nm，套刻精度±0.5μm，整体技术达到国际先进水平。

值得一提的是，中国科学院重庆研究院参与的“高阶非标张量网络计算理论与方法”项目还获得了自然科学奖一等奖；其牵头的“二维范德华异质结可控构筑与高效光电转换器件”项目荣获自然科学奖二等奖。

除此之外，赛力斯汽车有限公司、深蓝汽车科技有限公司等企业的相关成果还上榜了企业技术创新奖。

两江新区科技创新局相关负责人表示，将持续以科技创新为引领，培育壮大新质生产力，推动科技创新与产业创新深度融合，为两江新区高质量发展提供源源不断的科技支撑。

附：两江新区获奖名单：