原创 中科大教授评价国产光刻机:5nm的光刻机,涉及的东西太多,中国目前还做不到,说做到的都是在吹牛
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2025-06-01 09:02:17

最近中科大的一位物理学教授朱士尧提到了一些关于国产光刻机的事情,看上去挺让人心里复杂的。

他说5nm制程的光刻机,全世界目前只有荷兰的ASML能搞定,美国和中国都不行,说能做到的,大概率是在吹牛。

光刻机这东西,不只是一个设备,它像是高科技堆出来的大拼图,每个小零件都得特别精细,还得完美组合。这事儿哪那么容易?

朱教授还提到了,目前国内最先进的是193nm波长的氟化氩光刻机,分辨率在65nm左右,属于干式DUV技术,可以做40nm制程芯片的活儿。

可能有人会觉得奇怪,这种技术感觉已经是好几年前的了吧?是啊,这确实是事实。不过它背后涉及到多少技术积累,可不是我们普通人能想象的。

想起来小时候家里有台黑白电视,后来换成彩色那个时候兴奋得不得了。等液晶电视出来的时候,又觉得彩电彻底落伍了,好像啥东西都是这样,一层一层往上发展,全靠前面的基础垒起来。

EUV(极紫外线)技术就更难玩了,这是一种13.5nm波长的技术,可以一次曝光打磨出7nm制程芯片,比193nm高好几个台阶。但要实现这种设备,需要解决更多问题,比如镜头必须由德国蔡司供应,这已经是全球公认无法替代的大佬级别装备了。

没有蔡司镜头,就算美国自己来造,也未必能达到要求,更别提中国现在还没齐全配套链条了。朱教授这么说,看起来也没毛病。

再比如光刻机本身并不是唯一重要设备,它只是整个芯片制作流程中的一个环节而已——后续还有影响良品率占比30%左右的重要工序,比如用刻蚀机清洗多余部分什么的。这一整套组合拳打下来,要每一步都稳妥才行,否则性能和效率肯定出问题。

尹志尧倒是提过,现在国内在刻蚀机上有了一些成绩,有消息称已经供货给台积电这样的巨头企业了。不过他也表示,5nm以下制程,单靠某一种设备突破意义不大,需要全面协同才能攻破关键点。这话其实有点像大厨炒菜,要火候、调味料、食材全方位到位才行,否则端上来的可能就是失败品。

对于国产光刻机来说,目前要追赶上的还有不少东西,比如EUV光源和各种高难度核心部件。而且,说句让人无奈的话,即使我们勉强凑齐了零部件,还存在整合效率低的问题——装好了机器发现成品率不达标,那真就白折腾一场

中科大的这位教授态度还是挺冷静,他没直接否定未来的发展,只说明现阶段有很大的差距。这让我想到,有时候承认不足也是一种智慧吧,总比盲目吹得天花乱坠强。

当然不少网友也对他的观点提出质疑,大概觉得他说得太重,有些打击民族自信心。但仔细琢磨,他讲的话点出了很多现实困难,并没有一点虚夸。如果真有人随便把这些问题忽略,那反倒是不负责任了。

从整体来看,中国在半导体领域需要补课的不仅仅是光刻机,还有更广泛的平台建设和人才储备。不然哪怕以后真的造出了EUV光刻机,也可能会因为其他短板继续受限。所以,这样的大工程大概急不得,只能慢慢磨。

不过我觉得这事儿也不是完全悲观,一旦某些领域开始突破,就有可能引发连锁效应,到那个时候,也许会迎来真正属于国产芯片崛起的一天。

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