格科半导体申请半导体干刻设备专利，有效增加密封圈寿命_资讯

格科半导体申请半导体干刻设备专利，有效增加密封圈寿命

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2025-05-11 19:20:47

金融界2025年5月10日消息，国家知识产权局信息显示，格科半导体（上海）有限公司申请一项名为“一种半导体干刻设备”的专利，公开号CN119943639A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本发明公开了一种半导体干刻设备，包括：反应腔；固定挡板，与所述反应腔的一侧相连；密封圈，为环形结构，设置在所述反应腔和所述固定挡板之间，以使得所述反应腔和所述固定挡板之间形成密封；防腐蚀结构，为环形结构，设置在所述固定挡板上，且延伸至该反应腔内部，通过减少工艺气体和等离子体在该防腐蚀结构处的时刻流动速率，以减缓所述密封圈腐蚀。本发明能够有效增加密封圈寿命，减少反应腔在工作过程中发生腔体泄漏的异常现象。

天眼查资料显示，格科半导体（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本450000万人民币。通过天眼查大数据分析，格科半导体（上海）有限公司参与招投标项目21次，专利信息75条，此外企业还拥有行政许可86个。

来源：金融界

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