鑫睿炜半导体取得全自动槽式清洗机专利，提高晶圆清洗效率_资讯

鑫睿炜半导体取得全自动槽式清洗机专利，提高晶圆清洗效率

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2025-04-27 00:21:13

金融界2025年4月26日消息，国家知识产权局信息显示，鑫睿炜半导体科技（苏州）有限公司取得一项名为“一种全自动槽式清洗机”的专利，授权公告号 CN 222785267 U，申请日期为 2024 年 8 月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种全自动槽式清洗机，包括机架，设置于机架内的导轨及沿导轨移动的载具转移机构，部署于导轨的同一侧并呈水平排布的上料机构、多个清洗槽和下料机构，清洗槽包括酸洗槽、中和槽和快排冲洗槽，通过载具转移机构，将由上料机构载入的清洗载具在酸洗槽、中和槽和快排冲洗槽中依次转移并执行对应的清洗工序，并将清洗后的清洗载具传递至下料机构进行载出构成自动且连续地全套清洗制程该全自动槽式清洗机功能结构排布紧凑且实用，占用空间较小，监控功能齐全，使得晶圆具有较高的清洗效率。

天眼查资料显示，鑫睿炜半导体科技（苏州）有限公司，成立于2019年，位于苏州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，鑫睿炜半导体科技（苏州）有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息14条，此外企业还拥有行政许可5个。

来源：金融界

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