证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种液处理装置”，专利申请号为CN202420860191.8，授权日为2025年3月14日。

专利摘要：本实用新型公开了一种液处理装置，包括：机械臂组件，包括第一机械臂、第二机械臂和第三机械臂，第一机械臂与第二机械臂相对设置且均沿着第一方向延伸，第三机械臂沿着第二方向延伸；驱动组件，包括升降驱动组件和水平驱动组件，升降驱动组件用于驱动第一机械臂、第二机械臂和第三机械臂沿着第三方向做升降运动；第一方向、第二方向和第三方向两两相互垂直；水平驱动组件，用于驱动第一机械臂和第二机械臂沿着第二方向做平移运动、及第三机械臂沿着第一方向做平移运动；喷嘴组件，分别与第一机械臂、第二机械臂和第三机械臂连接，用于向基板供给液体进行液处理。本实用新型能够节约工艺腔内的空间，提高空间利用率，提高产能。

今年以来芯源微新获得专利授权8个，较去年同期增加了60%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。

数据来源：天眼查APP

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