颀中科技获得实用新型专利授权：“晶圆烘烤装置”
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2025-02-13 16:22:01
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示颀中科技（688352）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆烘烤装置”，专利申请号为CN202420858859.5，授权日为2025年2月11日。
专利摘要：本实用新型一种晶圆烘烤装置包括壳体以及设置于壳体内部的加热机构、风道均匀盘，所述壳体包括顶面，所述风道均匀盘位于顶面及加热机构之间，且所述风道均匀盘与顶面之间形成缓冲空间，所述顶面的中部具有连通所述缓冲空间的第一出风口，所述风道均匀盘具有对应所述第一出风口的基准位以及多个风道孔，在从所述基准位向外发散的方向上，所述风道孔的直径具有增大的趋势；风道均匀盘出风更均匀，壳体内均温性更好。
今年以来颀中科技新获得专利授权4个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6821.45万元，同比增40.85%。
数据来源：天眼查APP
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