扬杰科技获得实用新型专利授权：“立式氧化炉氮气吹扫装置”_资讯

扬杰科技获得实用新型专利授权：“立式氧化炉氮气吹扫装置”

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2024-12-25 07:21:35

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示扬杰科技（300373）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“立式氧化炉氮气吹扫装置”，专利申请号为CN202323561747.8，授权日为2024年12月24日。

专利摘要：立式氧化炉氮气吹扫装置，涉及半导体加工设备。包括底部环、上部环和若干氮气管；若干所述氮气管均布固定设置在底部环与上部环之间；所述底部环上设有若干与氮气管适配的进气孔；所述氮气管上设有若干从上而下均布设置的吹气孔；所述吹气孔朝向与之相邻的氮气管方向吹气。本实用新型有益效果：进舟时通过PLC控制，使氮气管通入氮气，晶圆片处于氮气氛围下，隔绝氧气，阻值薄层氧化层的生成，进舟结束后，停止氮气的通入。出舟时PLC指令通入氮气，同样使晶圆片处于氮气氛围下，隔绝氧气，阻值薄层氧化层的生成，出舟结束后，延时30分钟，停止氮气通入。

今年以来扬杰科技新获得专利授权79个，较去年同期增加了14.49%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.97亿元，同比增19.31%。

数据来源：天眼查APP

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