成都友臻科技取得靶的旋转结构专利，延长连轴使用寿命
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2024-12-24 16:22:25

金融界2024年12月23日消息，国家知识产权局信息显示，成都友臻科技有限公司取得一项名为“一种靶的旋转结构”的专利，授权公告号 CN 222182421 U ，申请日期为 2024 年 4 月 。

专利摘要显示，本实用新型涉及真空磁控溅射镀膜机，具体涉及一种靶的旋转结构，包括设在真空箱体外壁上的伺服电机传动机构，伺服电机的输出轴通过活动孔贯穿真空箱体并朝向真空箱体内部设置，输出轴通过联轴器连接有蜗杆；蜗杆置于真空箱体内部通过支撑机构传动连接有传动机构，传动机构底部固定连接有靶；支撑机构上固定设有空心型连轴，传动机构活动套设在连轴的外壁上，连轴远离支撑机构的一端设有出水口；连轴通过冷却组件与靶内部相连，当在伺服电机工作下传动机构带动靶旋转时，连轴不会旋转，因此连轴不会弯曲，使得连轴使用寿命延长，解决了现有技术中采用金属波纹管或者软管通入冷却水，当靶旋转时波纹管会反复弯曲，使用寿命很短，更换也不方便。

来源：金融界

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