迈为股份获得实用新型专利授权:“一种载板及真空镀膜装置”
创始人
2024-11-23 10:42:21

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示迈为股份(300751)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种载板及真空镀膜装置”,专利申请号为CN202420536928.0,授权日为2024年11月22日。

专利摘要:本实用新型提供了一种载板及真空镀膜装置,涉及真空镀膜技术领域。本实用新型提供一种载板,该载板可以包括用于承载待镀基片的托盘和用于承载托盘的框架,该框架可以包括两根导轨条、多根筋条和至少一个导电件。其中,多根筋条可以和两根导轨条相互连接形成网格状结构。至少一个导电件则设置在筋条的侧边或底部,并且导电件的底部低于筋条的底部,使得载板安装在热板上时,框架上的导电件与热板相互接触,大大增加了框架与热板之间的导电性,当有大功率射频电流馈入时,减少框架与热板之间电弧放电,提高产品品质以及热板和框架的使用寿命。

今年以来迈为股份新获得专利授权85个,较去年同期增加了14.86%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4.19亿元,同比增47.24%。

数据来源:天眼查APP

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