迈为股份获得实用新型专利授权：“一种载板及真空镀膜装置”_资讯

迈为股份获得实用新型专利授权：“一种载板及真空镀膜装置”

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2024-11-23 10:42:21

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示迈为股份（300751）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种载板及真空镀膜装置”，专利申请号为CN202420536928.0，授权日为2024年11月22日。

专利摘要：本实用新型提供了一种载板及真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域。本实用新型提供一种载板，该载板可以包括用于承载待镀基片的托盘和用于承载托盘的框架，该框架可以包括两根导轨条、多根筋条和至少一个导电件。其中，多根筋条可以和两根导轨条相互连接形成网格状结构。至少一个导电件则设置在筋条的侧边或底部，并且导电件的底部低于筋条的底部，使得载板安装在热板上时，框架上的导电件与热板相互接触，大大增加了框架与热板之间的导电性，当有大功率射频电流馈入时，减少框架与热板之间电弧放电，提高产品品质以及热板和框架的使用寿命。

今年以来迈为股份新获得专利授权85个，较去年同期增加了14.86%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.19亿元，同比增47.24%。

数据来源：天眼查APP

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