拓荆创益取得一种抽气环专利，实现对流阻的实时控制
创始人
2024-11-06 07:01:15
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金融界2024年11月4日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司取得一项名为“一种抽气环”的专利，授权公告号 CN 221940609 U，申请日期为 2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种流阻可调的抽气环结构。本实用新型提供了一种抽气环，至少包括抽气环基体和可调挡板：所述基体为空腔结构，中间部位设置有圆形通孔；所述圆形通孔，周向分布若干抽气孔；所述基体，设置有出气孔；所述可调挡板，设置在抽气孔与出气孔的气流路径上，由数个子挡板组成，数个子挡板的相对位置可调本实用新型提出的抽气环通过使用可调挡板实现了对流阻的实时控制，进一步调节了流场的均匀性，可以更好地适应不同的应用场景和需求，从而提供更加稳定、可靠、高效的流场调节。
来源：金融界
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