华海清科获得发明专利授权:“一种基板磨削方法”
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2024-08-22 05:01:16
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种基板磨削方法”,专利申请号为CN202211546030.3,授权日为2024年8月20日。

专利摘要:本发明公开了一种基板磨削方法,其包括:S1,使用校核装置确定砂轮的竖向初始位置;S2,根据砂轮的竖向初始位置、基板初始面形和基板目标面形,设定基板磨削参数;S3,根据基板磨削参数实施基板磨削加工;其中,步骤S1包括:对校核装置的量块进行恒温处理;校核装置的量块移动至吸盘的上侧;主轴组件沿竖直方向朝所述量块移动;主轴组件底部的砂轮抵压于量块,使得量块下部的检测传感器抵压于吸盘表面;检测传感器触发主轴组件停止移动信号,此时砂轮的位置为砂轮的竖向初始位置。

今年以来华海清科新获得专利授权25个,较去年同期减少了67.11%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元,同比增23.19%。

数据来源:天眼查APP

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