华海清科获得发明专利授权：“一种基板磨削方法”_资讯

华海清科获得发明专利授权：“一种基板磨削方法”

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2024-08-22 05:01:16

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基板磨削方法”，专利申请号为CN202211546030.3，授权日为2024年8月20日。

专利摘要：本发明公开了一种基板磨削方法，其包括：S1，使用校核装置确定砂轮的竖向初始位置；S2，根据砂轮的竖向初始位置、基板初始面形和基板目标面形，设定基板磨削参数；S3，根据基板磨削参数实施基板磨削加工；其中，步骤S1包括：对校核装置的量块进行恒温处理；校核装置的量块移动至吸盘的上侧；主轴组件沿竖直方向朝所述量块移动；主轴组件底部的砂轮抵压于量块，使得量块下部的检测传感器抵压于吸盘表面；检测传感器触发主轴组件停止移动信号，此时砂轮的位置为砂轮的竖向初始位置。

今年以来华海清科新获得专利授权25个，较去年同期减少了67.11%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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