众所周知,目前的芯片制造技术,基本上都是基于光刻技术。而光刻技术,需要光刻机,光刻机又与制程对应,比如KrF、ArF、ArFi、EUV等等。
所以光刻机,是所有芯片设备中,最关键的设备之一。而目前光刻机技术,基本上被ASML垄断,特别是高端EUV,ASML垄断100%市场,ArFi光刻机,ASML垄断98%的市场。
同时ASML又听美国的控制,于是乎,美国+ASML,利用光刻机,遏制住了全球芯片制造企业的喉咙。
在这样的情况之下,全球其它众多的半导体设备厂商,都想绕过ASML,绕过EUV光刻机,寻找一条新的道路。
比如俄罗斯发展X射线光刻机,日本发展纳米压印技术,欧洲发展DSA自生成技术,都想绕开光刻机,特别是EUV光刻机这条路线,不用EUV光刻机,也能制造5nm甚至以下制程的芯片。
而日本的佳能,在2023年终于成功了,成功量产出了一台可以制造5nm芯片的纳米压印设备,利用这种设备,可以制造5nm芯片。
与EUV光刻机不一样,纳米压印的原理完全不一样,它就像盖章一样,第一步先雕刻一个图章出来,下一步拿这个图章,直接印到硅晶圆上,就形成了电路图。
同时,这种纳米压印光刻机,其售价只有EUV光刻机的10%左右,耗电量也只有EUV 技术的10%。
甚至利用纳米压印机来制造5nm芯片,设备投资成本降低至原有EUV设备的40%左右,相当于减少一半。
佳能近日表示称,其已经量产的设备FPA-1200NZ2C将会在2024年出货,能够用于5nm芯片生产,到时候制造5nm芯片,就不再需要EUV光刻机了。
不过,这样的纳米印压设备,不能出口中国,佳能之前已经明确了这一点,说日本政府规定,制程在40nm以下的这种设备,出口到中国,就有限制,需要许可证。
另外,大家也要注意的是,纳米印压和EUV光刻是两种路线,很多的设备并不能通用,再加上纳米压印的效率,比EUV光刻机低很多。所以就算佳能有这技术,真正买的厂商,估计也不会多,毕竟EUV技术成熟稳定,效率高,纳米压印还不清楚。
事实上,如果没有限制,最有希望购买的是中国晶圆厂,毕竟EUV买不到,但如今中国企业无法买,佳能的客户只怕不多。